日本USHIO牛尾紫外線光阻劑硬化設(shè)備四川成都優(yōu)勢供應
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產(chǎn)品名稱: 日本USHIO牛尾紫外線光阻劑硬化設(shè)備四川成都優(yōu)勢供應
產(chǎn)品型號: 紫外線光阻劑硬化設(shè)備
產(chǎn)品展商: 日本USHIO牛尾
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簡單介紹
日本USHIO牛尾紫外線光阻劑硬化設(shè)備四川成都優(yōu)勢供應 日本USHIO牛尾紫外線光阻劑硬化設(shè)備四川成都優(yōu)勢供應
日本USHIO牛尾紫外線光阻劑硬化設(shè)備四川成都優(yōu)勢供應
的詳細介紹
USHIO紫外線光阻劑硬化設(shè)備
紫外線照射機，在LSI制造生產(chǎn)在線使用的紫外線阻劑固化、及電荷消除設(shè)備。
配備超高壓UV燈與EXCIMER燈，應用在提升干蝕刻時的耐電漿性、離子注入時的阻劑脫氣與燒制、電荷消除、疲乏消除、及 Low-k Cure等各種用途。
USHIO紫外線光阻劑硬化設(shè)備
特征
高照度、均一度照射
初期照度是650mw/cm2以上（220～320nm）、且照度均勻度保證在±10%。
采用依據(jù)SEMI規(guī)定之裝載接口的EFEM（φ12吋設(shè)備）
φ12吋用設(shè)備、采用裝載接口(依據(jù)SEMI) 的EFEM、以及搬運系統(tǒng) 采用無塵快速的2Finger搬運機器人、以達到高Throughput。
采用WindowsNT PC的高操作性與以GEM300為準（φ12吋設(shè)備）
φ12吋用設(shè)備采用Windows NT PC，達到**的操作性。亦符合GEM300規(guī)定。
燈管設(shè)備更換容易
燈管更換時無須調(diào)整，并降低裝置的停機時間。
配備照度一定模式與累積計算曝光模式（φ12吋設(shè)備：選購配備）
使用照度一定模式、并累積計算曝光模式、達到制程的穩(wěn)定化與一致化。
豊富的產(chǎn)品系列
對應φ6吋用設(shè)備（可與φ5吋以下共享）、φ8吋用設(shè)備（ 可與φ6吋以下共享）、以及φ12吋專用設(shè)備等所有工具匣。此外，亦備有準分子(Excimer)燈的φ8吋用設(shè)備。
USHIO紫外線光阻劑硬化設(shè)備
2Finger搬運機器人
USHIO紫外線光阻劑硬化設(shè)備
燈光設(shè)備
USHIO紫外線光阻劑硬化設(shè)備
主要用途
提升干蝕時的耐電漿性
離子注入時的阻劑脫氣及燒入
電荷消除與消除疲乏
Low-k Cure
薄膜磁頭之層間絕緣膜形成
化合物半導體的Lift-Off工程
表面改質(zhì)
CCD與CMOS影像儀的去色(bleaching)等
測試機介紹
可使用產(chǎn)品進行各種測試。詳細內(nèi)容請洽詢。
※可能無法滿足部份要求內(nèi)容、敬請見諒。
